更新時(shí)間：2019-02-21
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廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
生產(chǎn)地址：
PR500：手動(dòng)控制 PR510：自動(dòng)觸摸屏控制
低溫等離子的經(jīng)典款非常具有歷史性。采用自動(dòng)協(xié)調(diào)功能及觸摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設(shè)備。
用途
● 去除光刻膠
● 部品清洗
● 界面活性處理
● 微研磨
● 硅晶圓，玻璃基板對(duì)應(yīng)
特征
● 大口徑（Φ215mm）石英反應(yīng)腔
● 小型一體化設(shè)計(jì)
● 操作簡單的觸摸屏方式（PR510型）
低溫等離子的經(jīng)典款非常具有歷史性。采用自動(dòng)協(xié)調(diào)功能及觸摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設(shè)備。
用途
● 去除光刻膠
● 部品清洗
● 界面活性處理
● 微研磨
● 硅晶圓，玻璃基板對(duì)應(yīng)
特征
● 大口徑（Φ215mm）石英反應(yīng)腔
● 小型一體化設(shè)計(jì)
● 操作簡單的觸摸屏方式（PR510型）
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